Author(s):
1. Marija Pergal, Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, University of Belgrade, Belgrade, Serbia, Serbia
2. Vanja Vojnović, Centar za mikroelektronske tehnologije, Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju, Univerzitet u, Serbia
3. Ivan Pešić, Centar za mikroelektronske tehnologije, Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju, Univerzitet u, Serbia
4. Milena Rašljić Rafajilović, Centar za mikroelektronske tehnologije, Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju, Univerzitet u, Serbia
5. Stefan Ilić, Centar za mikroelektronske tehnologije, Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju, Univerzitet u, Serbia
6. Teodora Vićentić, Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, University of Belgrade, Belgrade, Serbia, Serbia
7. Gordana Tovilović-Kovačević, Institut za biološka istraživanja „Siniša Stanković”, Univerzitet u Beogradu, Bulevar despota Stefana, Serbia
8. Marko Spasenović, Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, University of Belgrade, Belgrade, Serbia, Serbia

Abstract